【招标】清华大学金属刻蚀机和涂胶显影机公开招标

2022-08-17 18:35:12 业界动态

集微网消息,8月16日,清华大学发布金属刻蚀机和涂胶显影机两项招标公告。

金属刻蚀机项目:清华大学拟采购1套金属刻蚀机,预算金额1400万元,设备应用于微机电系统(MEMS)和先进集成工艺研发过程中的金属材料的干法刻蚀工艺,金属材料包括铝(Al)、钛(Ti)等。

涂胶显影机项目:清华大学拟采购1套涂胶显影机,预算金额1400万元,包含涂胶显影机(MEMS用)、涂胶显影机(先进集成用),以及晶圆键合模块的涂胶机(临时键合用)3台设备。涂胶显影机(MEMS用、先进集成用)主要用于光刻胶的涂敷与曝光后显影工艺,是配合光刻机完成图形化的必需设备;涂胶机(临时键合用)主要用于临时键合工艺的键合胶涂敷,是临时键合的必需设备。(校对/赵碧莹)

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